提供超高精密运动控制系统解决方案
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来源： 时间：2017-10-17 09:01:13 浏览次数：
直线电机驱动、光栅尺编码反馈，最高亚微米级重复定位精度，单轴直线度可达±1.5μm、运动平面度可达±2μm超低顿振、出力平顺、低音运转，极高双驱控制性能及双驱同步
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