怡纳科技（东莞）有限公司
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超精密直线电机平台
名称：龙门精密平台
详细信息
产品描述
Product description
气浮直线电机平台是 精心研发的纳米级超高精密运动平台。采用标准化进口气浮模块，具有高刚性，气浮基面采用为天然花岗岩，保证运动平面度及直线度。增加磁性预压，提高稳定性，抗外界干扰解决气浮缺陷。
产品特性
Product Features
1、载物平台悬浮状态、无接触无摩擦
2、 纳米级定位、重复定位精度
3、速度连波低于0.1%
4、无导轨、没有油污
产品应用
Applications
激光加工、PCB曝光行业、晶圆检测及划线、各种高精密元件检测、PCB曝光行业等高端制造行业。
技术参数
TECHNOLOGY PARAMETERS
| 产品规格 | 0300×0300 | 0400×0400 | 0550×0550 |
| 行程(mm) | 300×300 | 400×400 | 550×550 |
| Ecoder解析度 | 10nm | ||
| 最大速度 | 1500mm/s | ||
| 最大加速度 | 2g | ||
| 重复定位精度 | ±0.1μm | ±0.2μm | ±0.2μm |
| 定位精度 | ±0.3μm | ±0.4μm | ±0.5.5μm |
| 直线度 | ±0.65μm | ±0.8μm | ±1.5μm |
| 平面度 | ±0.8um | ±1um | ±1.6um |
| 俯仰 | 3arcsec | 3arcsec | 4arcsec |
| 偏航 | 3arcsec | 3arcsec | 4arcsec |
| 最大负载 | 50kg（可非标定制） | ||
