怡纳科技（东莞）有限公司
提供超高精密运动控制系统解决方案
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超精密直线电机平台
名称：XY轴精密直线电机平台
详细信息
产品特性
Product Features
1、单轴直线度可达±0.8μm、运动平面度可达±1.2μm
2、 超低顿振、出力平顺、低音运转
3、 高动态性能、高刚度、高速度、长行程
4、天然花岗岩基台
产品应用
Applications
OLED加工、玻璃薄片检测、屏幕检测、晶圆检测、CCD 成像、 玻璃板切割、激光加工、3C产业等高端领域。
技术参数
TECHNOLOGY PARAMETERS
| 指标 | X轴 | Y轴 | |
| 有效行程 | 300mm | 300mm | |
| 最大速度 | 1300mm/s | 1300mm/s | |
| 最大加速度 | 1g | 1g | |
| 分辨率 | 0.1μm | 0.1μm | |
| 水平直线度 | ±1μm | ±1μm | |
| 垂直直线度 | ±1.5μm | ±1.5μm | |
| 定位精度（补偿后） | ±1μm | ±1μm | |
| 重复定位精度 | ±0.2μm | ±0.2μm | |
| 垂直度 | ±2arcsec（X轴与Y轴） | ||
